氧氣、氮氣、氬氣、氫氣、乙炔、丙烷等高純氣體壓力管道安裝、設(shè)計。
一、預制工作(在簡易潔凈室)在現(xiàn)場的焊接工作降至最低量是必需的。配管區(qū)必須在有潔凈氣的地方，在工作時維持風扇正常運轉(zhuǎn)，于早、中、晚用O2檢視器檢查O2的濃度。1、 點焊點焊使用TIG焊接，點焊的點數(shù)按照下列規(guī)定。CAJON的焊機必需保證管子確實牢固，從完成的觀點來看，最好不要使用手動的TIG焊接，因此點焊被省略；
2、沖吹氣體(Back seal gas)使用氬氣，露點-80℃或更低，氧含量在0.1ppm以下，微粒(0.1um以上)含量為零。
3、沖吹用管套連接沖吹氣體管路與架設(shè)管路
4、預制程序?qū)⒐ぷ鞴苈穬啥颂咨瞎芴�，連接沖吹氣體及閥氬氣沖吹(預先沖吹1分鐘以上)點焊,氬氣沖吹,焊接(自動焊接),氬氣沖吹風(收尾沖吹1分鐘以上)
5、裝封完成焊接之后，在管內(nèi)充滿Ar氣，而且用潔凈的塑料紙在末端包裹兩層。如果末端的閥已經(jīng)連接好了，把閥也用塑料紙裹起來。
二、現(xiàn)場工作規(guī)定1、攜入材料必須置于特定的貯藏間，在工地現(xiàn)場或在材料間要提供暫時性的簡易潔凈室，所有材料要存放整齊。在存放材料時，有電子拋光的管件必須和未經(jīng)電子拋光的管件分開。在尚未使用管件之前都不要將塑料封套打開直到現(xiàn)埸要使用時方可打開，并且不要將材料直接放在地上。
2、切管切管時，使用的自動切割機或手動切管器必須是專門為半導體廠工作所設(shè)計的。切管器的刀片與管件成垂直方向，當使用自動切割機時，放刀片的深度要能使管壁尚有薄薄的一層未切斷，藉以防止切割時的碎屑進入管內(nèi)。
3、倒角原則上，在使用倒角機 ( TUBE SIZE用) 或銼刀 ( PIPE SIZE用) 時，小心地移開切割面。如果切割面歪斜未成垂直，焊口松馳或管子彎曲等狀況發(fā)生時，這種管路是不合規(guī)定，必須重新切割及配置。當?shù)菇菚r，在管的另一端必須用高潔凈度的氮氣沖吹(氮氣要經(jīng)0.02um的過濾器過濾)。
4、N2吹掃將管內(nèi)的微粒沖吹出來。
5、現(xiàn)場焊接現(xiàn)埸焊接的人員必須經(jīng)過高潔凈度配管技術(shù)培訓。即使焊接結(jié)束，也要維持小量的N2或Ar在管內(nèi)沖吹以防止空氣流入管內(nèi)。無論如何也要想辦法把管內(nèi)的空氣及微粒趕出來。
6、焊機電源供給電源的電壓的變動，對于管路焊接的品質(zhì)影響甚巨。使用自動焊接機的電源必需使用特定的整流器。容許的電壓波動AC 100V±10%，AC 200V±10%，在焊接進行時電壓警報器一直監(jiān)視著電壓，如果電壓超過可容許的范圍時，警報器就會發(fā)出聲音。
7、工作后的清潔檢視切割機的潔凈度，保持機具不受油污，如果仍然看得見有油污或切割的碎屑殘余，用GN2沖吹。使用的N2必須經(jīng)-80℃或更低的露點，經(jīng)0.02um的過濾器干燥，用肉眼檢查沒有任何的水汽。
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